各市人民政府,省政府各厅委、各直属机构:
《辽宁省建设具有国际竞争力的先进装备制造业基地工程实施方案》已经省政府同意,现印发给你们,请认真贯彻执行。
辽宁省人民政府办公厅
2019年1月10日
辽宁省建设具有国际竞争力的先进装备
制造业基地工程实施方案
为贯彻落实《中共辽宁省委办公厅 辽宁省人民政府办公厅关于印发〈辽宁省建设具有国际竞争力的先进装备制造业基地工程框架实施方案〉的通知》(辽委办发〔2018〕8号)精神,加快推进辽宁具有国际竞争力的先进装备制造业基地工程建设,结合我省实际,制定本实施方案。
一、指导思想
深入贯彻落实党的十九大和十九届二中、三中全会精神,坚持以习近平新时代中国特色社会主义思想为指导,全面落实新发展理念和“四个着力”“三个推进”要求,以供给侧结构性改革为主线,以科技创新为动力,聚焦智能化、高端化、成套化,提升先进装备制造业自主研发、设计、制造及系统集成水平,增强先进装备的自主可控能力、智能制造能力和服务增值能力,加快建设具有国际竞争力的先进装备制造业基地。
二、发展目标
到2020年,装备制造业主营业务收入突破8000亿元,年均增速达9%以上,先进装备制造业占比达到60%以上;产业智能化水平明显提高,数字化研发设计工具普及率达到75%,关键工序数控化率达到51%;自主创新能力进一步提升,力争突破50项关键核心技术,开发30项在全国具有影响力的重大首台(套)装备,争取创建5个以上国家级研发平台;形成以沈阳、yh86银河国际高端装备为中心,其他地区“专精特新”装备为配套的先进装备制造业产业发展格局。
到2030年,装备制造业自主创新能力达到国际先进水平,智能制造、服务型制造、绿色制造处于全国前列,先进装备制造业现代化产业体系进一步完善,国际化经营能力显著增强,在全球产业分工和价值链中的地位明显提升,建成具有国际竞争力的先进装备制造业基地。
三、发展重点
围绕做优做强航空装备、海工装备及高技术船舶、节能汽车与新能源汽车、重大成套装备,发展壮大高档数控机床、机器人及智能装备、先进轨道交通装备、集成电路装备,实施8项子工程。
(一)航空装备子工程。
成立航空装备工程实施建设指挥部,指挥中心设在辽宁通用航空研究院,负责工程建设技术指挥工作,主要承担研究提出我省航空产业发展技术政策、技术路线、产业发展方向、产业发展重点等。
1.发展重点。
干支线整机及大部件。重点发展民用支线飞机、公务机整机生产、关键大部件制造,围绕波音、空客、庞巴迪飞机大部件,以及国产C919、ARJ21大飞机的机身结构、超大部件的制造,全面提升我省业务承接能力。
通用飞机及零部件。重点发展轻型飞机、多用途飞机、农用飞机、无人机等全系列通用飞机的研发和制造。支持新能源通用航空装备研发,突破新一代航空电动机关键技术,提升电动飞机航时等性能指标,重点发展电动水上飞机、电动直升机、原子能小型无人机等,推动电动飞机系列化、产业化发展。
航空发动机和燃气轮机。重点发展干支线飞机、通用飞机航空发动机、各型民用燃气轮机,以及民用航空发动机机匣组件、轴类零件、整流罩、静子壳体等航空发动机零部件产品。
关键零部件及材料。依托兴华航空电器、航达机载设备等单位开展航空电器、航空电子、航空仪表、通信导航、高强度卡箍、航空减震器、高效率低噪音螺旋桨等航空零部件产品研制。依托抚顺特钢、忠旺铝业、yh86银河国际盛辉钛业等企业发展高性能铝合金、钛合金、镁合金结构件、型材制品及深加工技术,加快发展新型复合材料、内饰、工装夹具、航空标准件等配套产品。
关键共性技术。依托中航601所、606所、626所、辽宁通用航空研究院等单位,鼓励开展关键共性技术研发,在先进航空动力总体设计技术、高负荷高效率长寿命民用航空发动机技术、航空发动机整体叶盘高效精密加工技术及其成套智能化工艺装备、ARJ飞机的方向舵产品批量化制造关键技术及工艺装备、航空零部件自动化柔性安装技术及其智能装备、新能源通用飞机设计制造技术、高效能氢燃料电池和太阳能电池设计技术、低空空域通用航空飞机全空域无缝监视与服务、复合材料构件制造及加工技术、航空用钛合金丝材及其加工技术、大型轻量化整体及高强金属结构制造技术等领域实现突破。
2.主要任务。
提升产业创新能力。充分发挥我省自主燃气轮机创新高地的作用,整合优势资源,争创国家级燃气轮机制造业创新中心。支持重点企业建设通航工程研究中心、工程重点实验室、企业技术中心等研发平台,提高原始创新、集成创新、引进技术消化吸收再创新能力。加强新能源通用飞机关键共性技术研发平台建设。争取创建国家级通用飞机设计制造协同创新中心。
推进军民深度融合。加快制定《辽宁省军民融合发展战略实施意见》,推进航空企业落实。推动军民融合发展重点地区研究出台配套扶持政策,组织企业申报《军用技术转民用推广目录》《民参军技术与产品推荐目录》。依托yh86银河国际国际海事展览会、重点产业联盟等平台,组织企业开展产品、技术需求军民对接活动。
打造航空产业特色园区。支持浑南航空产业园发展大飞机制造、公务机整机生产及重要大部件制造;沈北航空产业园发展喷气和涡桨类通用飞机整机研发制造、零部件专业化生产;法库通航产业园发展轻型通用飞机总装、试飞、调试等;yh86银河国际通航产业园发展水上飞行器制造;盘锦无人机产业园发展农林牧渔作业、工业应用、运动娱乐无人机等;朝阳通航产业园发展飞行培训、航空物流等。
完善产业配套体系。发挥省航空装备产业联盟的积极作用,推进省内产业链上下游企业加强合作、协同创新、协作配套。鼓励和支持相关配套企业进入园区,促进配套产业集聚发展。加快航空产业科技成果在我省转化,弥补产业配套短板。
3.重点项目。
航空装备产业重点项目表
单位:万元
(二)海工装备及高技术船舶子工程。
成立海工装备及高技术船舶工程实施建设指挥部,指挥中心设在yh86银河国际船舶重工有限公司,负责工程建设技术指挥工作。主要承担研究提出我省海装及高技术船舶产业发展技术政策、技术路线、产业发展方向、产业发展重点等。
1.发展重点。
高技术船舶。重点发展超级生态环保油船、散货船、大型集装箱船等国际航线、支线船舶以及江海直达双燃料船舶等超级生态环保船舶;适用不同冰级要求的极地油船、集装箱船等极地运输船舶;远洋捕捞船、深冷运输船等远洋渔业船舶;大型LNG燃料动力船、大型液化气运输船(VLGC)、大型乙烷运输船(VLEC)、智能船舶、绿色动力VLCC等。
海洋工程装备。重点发展深海、超深水半潜式生产平台、大中型液化天然气浮式生产储卸装置(LNG-FPSO/FSRU)、浮式钻井生产储卸装置(FDPSO)、深水/超深水钻井船、中深水张力腿平台(TLP)、深水立柱式平台(Spar)、海上风电装备安装船、半潜式生产平台、近海矿砂勘探采掘工程船、铺管起重船、深水高性能物探船、近远海渔业资源开发装备等。海洋核动力平台、海上大型/超大型浮式保障基地、岛礁重型浮式平台、深远海探测与考察装备、远海岛礁开发建设施工装置等。
游艇制造业。重点发展豪华邮船,高速化、多功能新型海上公务执法船舶,深远海救助船以及排污打捞等船舶,休闲运动船艇,防汛船艇等。
船舶配套产业。重点发展大型船用低速柴油机、高效船用推进器、阀门、大型船用曲轴;船用电器设备、船用北斗自主导航设备;海工装备钻井包系统,FPSO平台/模块,单点系泊装置,LNG储罐、储存舱,LNG燃料高压供气系统,再气化、再液化模块,深海锚泊和动力定位系统,自升式海工平台的桩腿及平台升降锁紧系统,中央冷却系统;适用于极地航行船舶的低温材料、泵、阀件等核心配套件。
关键共性技术。重点发展大型船舶与海洋平台装备的腐蚀控制技术,超高强度、强韧性和长寿命等钢材料与复合材料;低阻船体主尺度与线型设计技术、船体上层建筑空气阻力优化技术、船体航行纵倾优化技术、船底空气润滑降阻的结构优化设计等;减振降噪与舒适性技术、船舶智能设计制造技术。
2.主要任务。
提升产业创新能力。按照工业和信息化部要求,组织企业承接国家高技术船舶科研项目和海洋工程装备科研项目,争取在关键共性技术、核心配套产品等领域实现突破。依托yh86银河国际船舶重工等龙头企业及科研院所,加强产学研合作,积极推进船舶行业智能制造和智能服务水平,提高船舶建造质量和效率,增强船舶产业核心竞争力。
推进海洋核动力平台项目建设。围绕海洋核动力平台示范工程项目,指导承建企业完成项目可行性研究报告、环评报告编写,形成核动力平台项目详细设计图纸报国家相关评估机构评审,确保项目按计划建成并交付使用。
完善船舶配套体系。着力提高船舶、海洋工程装备、游艇的基本设计和详细设计能力,掌握在配套产品选型上的话语权,使我省更多的配套产品被选用。支持有条件的装备企业参与船舶关键配套设备研制,提高船舶配套能力,使更多配套企业进入船舶、海工装备产业链。
3. 重点项目。
海装及高技术船舶装备产业重点项目表
单位:万元
(三)节能汽车与新能源汽车子工程。
成立节能汽车与新能源汽车工程实施建设指挥部,指挥中心设在华晨汽车集团,负责工程建设技术指挥工作。主要承担研究提出我省节能汽车和新能源汽车产业发展技术政策、技术路线、产业发展方向、产业发展重点等。
1.发展重点。
节能汽车。重点发展先进的高效动力总成、低碳高效内燃机、轻量化、能量管理等技术,推进涡轮增压直喷技术、启停微混技术、双离合变速器等技术的应用,实现传统燃油汽车节能降耗,减少污染物排放。
新能源汽车。新能源乘用车领域,重点发展纯电动乘用车、插电式(含增程式)混合动力乘用车;新能源商用车领域,重点发展纯电动、插电式混合动力和燃料电池物流车、货车等商用车;新能源专用车领域,重点发展纯电动和插电式混合动力机场摆渡车、除雪车、警用车、环卫车、医疗专用车等产品。
智能网联汽车。开展车载传感器、控制器、执行器及车载通信与网络等技术研究,开发具有智能动态信息服务、车辆智能化控制、智能化交通管理等功能的智能网联汽车。开展车辆自动识别、车辆运行状态实时监测、智能充电、电池定位管理、电池动态监视等技术研发。
核心零部件。重点发展耐低温、高安全性动力电池,高效能动力电池管理系统、驱动电机及控制器、电动汽车整车控制系统、燃料电池电堆及系统;高效增程式发动机及关键部件,电驱动模块及关键零部件;车载视觉识别系统、车载雷达系统、高精定位系统、车载互联终端和集成控制系统;智能充电桩等。
关键共性技术。重点发展整车智能控制技术、高集成度动力系统电动化等整车集成技术,小型化增程式发动机燃烧和控制技术、插电式混合动力汽车动力性能优化技术、新能源汽车电驱动模块、电动车专用底盘和稀土永磁智能电机等动力系统技术,能量存储系统技术、燃料电池系统技术,汽车智能化技术等。
2.主要任务。
提升产业创新能力。依托华晨汽车集团、曙光汽车集团、东软集团等重点企业,以及中科院沈阳自动化所、中科院yh86银河国际化物所、东北大学、yh86银河国际理工大学等一批科研院所和高等院校,建立以企业为主体的产学研用相结合的协同创新体系。
推进产业结构调整。鼓励公告内燃油汽车整车生产企业、改装类商用车企业利用现有基础,研发和生产新能源汽车;鼓励公告内新能源汽车企业通过兼并重组,整合资源,提高企业市场竞争能力; 加强新能源汽车项目管理,防止低水平盲目投资和重复建设,避免造成新的产能过剩。
培育新能源汽车配套体系。以华晨汽车集团、曙光汽车集团等龙头企业为引领,加强新能源汽车产业配套体系建设,带动关键零部件产业快速发展。以促进新能源汽车规模化发展为目标,积极发展动力电池、驱动电机、电控系统等新能源汽车关键零部件,电池关键材料和充电机、充电桩等配套基础设备,尽快形成规模化配套能力。
促进新能源汽车推广应用。依托省汽车工业协会、省新能源汽车产业联盟等行业组织,积极组织新能源汽车产需对接会、产品推介交流会等,加快新能源汽车在公交、物流、邮政、市政、旅游等领域的推广应用;积极开展氢燃料电池汽车示范运行,使我省在氢燃料电池汽车领域走在行业前列。
3.重点项目。
节能汽车与新能源汽车重点项目表
单位:万元
(四)重大成套装备子工程。
成立重大成套装备工程实施建设指挥部,指挥中心设在沈阳北方重工集团,负责工程建设技术指挥工作。主要承担研究提出我省重大成套装备产业发展技术政策、技术路线、产业发展方向、产业发展重点等。
1.发展重点。
输变电成套装备。重点发展1000KV交流、±1100KV直流特高压变压器、六氟化硫全封闭组合电器、大容量换流阀等特高压设备及高压套管、避雷器等关键零部件;支撑智能电网的智能变电站成套装置、智能配电网成套装置、柔性直流输变电设备等。
核电装备。重点发展大型先进核电成套装备,CAP1000、CAP1400屏蔽式核主泵以及更大功率屏蔽式核主泵和变频器、核环吊、阀、飞轮、导叶、主泵壳体、主管道及关键铸锻件等关联系统及材料,“华龙一号”核主泵(轴封主泵)及核二、三级泵及关联系统。
风电装备。重点发展大型风力发电装备及智能控制系统,5MW以上等级风力发电机组整机,智能控制系统和大型风力发电机组的齿轮箱、增速机、风机主轴、偏航及变桨轴承、变频器及储能电池等关键零部件。
光伏发电装备。重点发展高转化率太阳能电池组件、柔性多端直流输电系统、大功率光伏并网逆变器、大容量储能设备等并网电站及分布式光伏电站。
分布式能源装备。重点发展联合循环效率不低于45%的50-70MW燃气轮机发电装备和F级300MW、G/H级400MW重型燃气轮机发电装备及配套透平叶片、涡轮盘、喷嘴、火焰筒等关键零部件、氢能制备成套设备等。
石化成套装备。重点发展海陆石油钻采、石油和页岩气压裂成套装备、石油和天然气长输管道,百万吨级乙烯装置用三机(裂解气压缩机、丙烯压缩机、乙烯压缩机)、百万吨级PTA、百万吨级PX、大型天然气液化、大型煤化工、大型炼油等成套装备、配套零部件和大型容器铸锻件等相关材料。
冶金成套装备。重点发展高产球团焙烧、大型烧结、高性能超宽超薄镁合金板轧制、差厚板轧制及横切、带钢热处理及酸洗、大型锻压设备等成套装备、配套零部件和超高温耐热等相关材料。
工程机械成套装备。重点发展全系列(大、中、小、微型)隧道掘进成套装备(岩石掘进机和盾构机等)、大型装载机、多功能大型轮式起重机、大型全地面汽车起重机、高效筑路和养路机械、大型沥青路面再生设备、高效除雪设备等工程机械、配套零部件和稀土耐磨铸件等相关材料。
矿山成套装备。重点发展大型破碎粉磨设备、宽适用范围大型洗选设备、大型砂石骨料生产设备、煤炭智能综采设备等成套装备、配套部件和大型铸锻件等相关材料。
物料搬运成套装备。重点发展长距离、大运量、耐高温带式(管式)输送机、大型堆取料机、大型装卸车船机、大型排土机等成套装备及关键配套零部件。
节能环保成套装备。重点发展混凝土预制件生产、垃圾焚烧处理、工业固体废弃物、建筑垃圾资源化利用、废旧汽车和家电破碎、分选综合利用等成套装备及关键配套零部件。
关键共性技术。核岛及常规岛主设备设计、验证、制造技术,5MW以上等级风力发电机组整机设计、超大型叶片气动及结构设计、模块化永磁发动机、中压全功率变流器、载荷及振动控制、环境适应性和风力发电机智能控制等技术,先进燃气轮机高温高强超级合金材料制备技术、高压比大流量压气机设计制造技术、高温透平叶片冷却等技术,隧道掘进机刀盘刀具地质适应性设计、主机系统多学科耦合仿真与抗振设计、关键零部件损伤机理及抗损设计等技术,高效节能电机、变频调速控制技术、无功补偿技术、高/低压智能节电系统控制技术、预热/余压/余能发电技术,以及工业三废处理技术等。
2.主要任务。
提升产业创新能力。完善以企业为主体、科研院所和高等院校紧密协作的产学研用合作体系,围绕我省重大成套装备的薄弱环节和关键领域,开展行业基础和跨行业共性关键技术研发,尽快突破一批核心技术和重大关键技术,形成一批具有自主知识产权的科技成果,支撑我省重大成套装备发展。
推进首台(套)重大技术装备研制和推广应用。按规定利用国家首台(套)重大技术装备保险补偿政策,组织我省装备企业上报首台(套)装备产品,并积极推荐列入《国家首台(套)重大技术装备推广应用指导目录》。深入开展首台(套)保险补偿政策宣贯工作,工业和信息化、财政、银保监等部门要做好国家重大技术装备首台(套)保险补偿项目组织申报工作,促进首台(套)重大技术装备在国家、省重点工程的示范应用。
鼓励企业开展工程总承包。鼓励企业发展重大成套装备“交钥匙”工程以及总集成、总承包服务;鼓励工程总承包公司与装备制造企业紧密合作,推进装备制造企业制造与服务协调发展,促进企业由生产型制造向服务型制造转变。
3.重点项目。
重大成套装备重点项目表
单位:万元
(五)高档数控机床子工程。
成立高档数控机床工程实施建设指挥部,指挥中心设在沈阳机床(集团)有限公司,负责工程建设技术指挥工作。主要承担研究提出我省高档数控机床产业发展技术政策、技术路线、产业发展方向、产业发展重点等。
1.发展重点。
高档数控机床。重点发展针对航空航天装备、汽车、电子信息等产业发展需要的高速、精密、智能、复合、多轴联动数控机床、加工中心、先进成形装备及成组工艺生产线、柔性制造系统、飞机数字化总装设备、机器人集群自动钻铆、汽车发动机/变速箱等高效加工/近净成形装备及汽车发动机、变速箱装配成套装备等。
高档数控系统。重点发展多轴、多通道,高精度插补、动态补偿和智能化编程,具有自监控、维护、优化、重组等功能的智能型数控系统和具有标准接口、模块化、可移植性、可扩展性及可互换性等功能的开放型数控系统。
关键功能部件。重点发展高速高精度电主轴、双摆角铣头、刀库等核心功能部件,高可靠性、高稳定性、高精度轴承、导轨、丝杠及机床电器件等关键零部件,突破技术壁垒,打破长期依赖进口的局面。
关键共性技术。重点发展复杂型面和难加工材料高效加工及成形技术,基于开放式网络、众创式协同创新设计以及面向装备产品全生命周期的数字化全流程建模与仿真技术、高精度机床的可靠性和精度稳定性关键技术等。
2.主要任务。
完善产业创新体系。发挥“高档数控机床与基础制造装备”国家科技重大专项的引领作用,加强课题成果的转化、示范和推广;发挥省内的国家级、省级重点实验室、工程技术中心等平台的基础作用,完善平台功能,在核心共性技术、重点产品和关键功能部件研发和产业化方面实现突破。
推进智能数控机床推广应用。积极开展高档数控机床及智能生产线项目的示范应用。支持应用示范基地建设,围绕重点行业、重点用户,实施一批效果突出、带动性强、关联度高的新产品应用示范工程,形成良好的品牌效应和示范作用,提升新产品的市场竞争力。
推进配套体系建设。鼓励和支持数控机床主机、数控系统和功能部件等产业链关联单位组建长期稳定的战略合作关系,建立数控系统、功能部件与机床企业长期的配套关系,打造完整数控机床和基础制造装备配套产业链。发挥省数控机床产业联盟的作用,促进产业链上下游企业合作。
3.重点项目。
高档数控机床重点项目表
单位:万元
(六)机器人及智能装备子工程。
成立机器人及智能装备工程实施建设指挥部,指挥中心设在中科院自动化所,负责工程建设技术指挥工作。主要承担研究提出我省机器人及智能装备产业发展技术政策、技术路线、产业发展方向、产业发展重点等。
1. 发展重点。
机器人及智能装备。重点发展弧焊机器人、点焊机器人、真空(洁净)机器人、核环境机器人、全自主编程智能工业机器人、人机协作机器人、双臂机器人、复合机器人(移动机械臂)、装配型AGV、重载AGV等十种标志性工业机器人产品,以及救援机器人、水下机器人、手术机器人、智能型公共服务机器人、康复机器人等特种机器人,大型/精密/高效增材制造装备等智能装备。
核心零部件。重点发展高速高性能总线式控制器、高性能机器人专用伺服电机和驱动器、高精密差动行星减速器等机器人核心部件。
关键共性技术。重点发展传感器技术、视觉技术、远程监控与故障诊断技术、人工智能技术等核心技术,突破工业机器人与专用机器人在智能行为控制、安全协作控制上的重大共性关键技术,开展具有自主知识产权机器人产品的研发。加快3D打印设备产品开发及应用,重点突破三维测量、快速成型制造、快速模具、快速铸造、工业机器人激光增材制造技术等核心技术的开发与研制。
2. 主要任务。
完善产业创新体系。依托沈阳新松机器人抓好国家机器人创新中心建设。依法建立并完善以国家机器人检测与评定中心和国家机器人质量监督检验中心为代表的机器人检验与认证机构,推动建立机器人第三方评价和认证体系,开展机器人整机及关键功能部件的检测与认证工作。建立健全机器人创新平台,聚焦前沿技术、共性关键技术研究。
突破重大标志性产品。面向制造业重点领域及其他国民经济重点行业需求,聚焦生产制造数字化、网络化、智能化,支持企业研制工业机器人、特种机器人、增材制造重大装备等,引导我省工业机器人和智能装备向中高端发展。
推进产品应用示范。围绕制造业重点领域,研究推进一批效果突出、带动性强、关联度高的典型行业应用示范工程,重点针对需求量大、环境要求高、劳动强度大的工业领域以及救灾救援、医疗康复等服务领域,分层次开展细分行业的推广应用。
3. 重点项目。
机器人及智能装备重点项目表
单位:万元
(七)先进轨道交通装备子工程。
成立先进轨道交通装备工程实施建设指挥部,指挥中心设在中车yh86银河国际机车车辆有限公司,负责工程建设技术指挥工作。主要承担研究提出我省先进轨道交通装备产业发展技术政策、技术路线、产业发展方向、产业发展重点等。
1.发展重点。
标志性整机产品。重点发展国际先进的高速列车、时速160-200公里城际列车、30吨轴重重载电力机车、时速120-160公里市域快轨列车、100%低地板现代有轨电车、高原交流传动内燃机车等。
核心零部件及材料。重点发展移动闭塞自动控制系统、智能票检系统、机车信号设备、轨道电路接收设备、雷电防护设备;高速转向架、高速客车轴承、新型轨道交通轴承、传动齿轮箱、发动机、大功率制动装置等核心零部件。铝合金车体,铜银合金接触线、铜锡合金接触线等电气化铁路接触网关键材料。
关键共性技术。重点发展新型车辆车体技术、高性能转向架技术、馈能式双向变流技术、永磁电机驱动与无齿轮直驱技术、高速动车组制动控制技术、先进轨道交通安全处理平台技术、车地信息交换及安全通信技术、高速列车无线数据传输技术等
2.主要任务。
完善产业创新体系。推动创建国家级机车工程技术研究中心,提升试验验证、基础研究和技术研发能力。发挥省级重点实验室、工程技术中心等平台的基础作用,完善平台功能,实现服务产业发展的目标。
完善产业配套体系。坚持问题导向、产需结合、协同创新、重点突破的原则,充分发挥我省装备制造业产业优势,推进制动系统、通信信号系统、轻量化车体等配套产业领域完善配套体系,形成产业优势。
实施走出去发展战略。借势国家“一带一路”建设,积极对接国家相关部委与中直企业,通过借船出海、工程总承包、PPP模式等方式,推动国际产能和装备制造合作,通过整机拉动零部件产业“走出去”,构建“产品+服务+技术+投资”全方位国际化经营能力。
3.重点项目。
先进轨道交通装备重点项目表
单位:万元
(八)集成电路装备子工程。
成立集成电路装备工程实施建设指挥部,指挥中心设在沈阳国家级集成电路装备高新技术产业化基地和中电科47所,负责工程建设技术指挥工作。主要承担研究提出我省集成电路装备产业发展技术政策、技术路线、产业发展方向、产业发展重点等。
1.发展重点。
重点整机产品。重点发展具有世界领先水平的12英寸原子层薄膜沉积(ALD)设备、3D NAND PECVD设备,推进12英寸激光类划片机、单晶外延设备(EPI)的研发、定型和应用,支持多线切割机、磨片机、抛光机等硅片生产设备发展,推进300mm全自动装片机、芯片倒装机、引线键合机等封装测试设备向高端封装及IGBT、MEMS特色封装领域应用。
关键零部件。重点发展IC装备核心制程关键零组件加热器、GDP、匀气盘及大尺寸腔体等产品,扩大现有产品腔体类、基板类、盘孔类零部件的市场规模,实现组装件的批量应用。实现罗茨干泵、涡旋干泵、离子泵、螺杆干泵及真空阀门大规模产业化,建成国际先进水平的真空获得系统研发、设计、测试验证、技术服务和产业化基地。
关键共性技术。重点发展具有与光刻机外联功能的12英寸及以上匀胶显影设备、应用于3D NAND闪存技术领域的PECVD设备等整机设备生产技术,小体积大抽速高节能涡旋真空泵技术,扇出型封装成套设备工艺技术,匀气盘、反应腔、罗茨干泵、阀门等关键零部件及零部件表面处理全工艺生产技术。
2.主要任务。
加快自主创新产品研发和产业化进度。支持以12英寸为重点的集成电路生产设备的研制,加快基于倒装、芯片级封装等先进封装技术的设备研发;支持半导体晶圆切割设备、芯片绑定、焊接装备自主创新;鼓励和支持装备制造业企业开展蚀刻机、离子注入机、外延设备及抛光、清洗、测试、分选和检测设备研发和产业化;大力推进沈阳国家级集成电路装备高新技术产业化基地建设。
推进重点项目建设。推进沈阳富创的半导体装备精密零部件产业化项目、沈阳拓荆的半导体薄膜设备研发及产业化项目、沈阳科仪的IC生产线用真空获得系统国产化基地建设项目、沈阳芯源的300mm晶圆喷涂胶显影设备研发及产业化项目等建设;引导yh86银河国际佳峰的“IC用全自动装片机”和“全自动引线键合机”扩大产能、开拓市场。
3.重点项目。
集成电路装备重点项目表
单位:万元
四、主要措施
(一)加强组织领导。省先进装备制造业基地建设工程指挥部负责对工程实施全面管理,省工业和信息化厅作为指挥部办公室,负责日常管理工作,推进落实指挥部议定事项以及指导各市基地建设。省先进装备制造业基地建设工程中心为先进装备制造业基地建设重点任务的实施提供服务保障和支撑。各市和省直有关部门要按照责任分工,推动各项任务落到实处。(责任单位:省工业和信息化厅、省科技厅、省发展改革委、省先进装备制造业基地建设工程中心等部门)
(二)深化体制机制改革。加快政府职能转变,深化“放管服”改革,优化企业发展环境。开展降低实体经济企业成本行动,优化运营模式,增强盈利能力。依法清理和规范涉企行政事业性收费,减轻企业负担,完善公平竞争、促进企业健康发展的政策和制度。积极发展混合所有制经济,鼓励非公企业参与国企改革。大力发展民营经济,进一步增强市场主体活力。(责任单位:省委编办、省营商环境建设局、省国资委、省发展改革委、省工业和信息化厅)
(三)推进产业转型升级。推进两化融合,开展200项智能制造和智能服务试点示范,加快装备制造业智能化转型升级。加快军民融合发展,推进军民科技成果双向转化。每年推进50项工业强基项目,破解先进装备制造业产业发展瓶颈。推进绿色制造发展,开展绿色制造技术和制造装备的推广应用。加强产业创新能力建设,促进科技成果转化和推广应用。充分发挥装备制造业产业联盟作用,推动产业链协同发展。推进200项重大项目建设,加快产业结构调整。积极争取国家专项资金支持,促进产业高端化发展。(责任单位:省工业和信息化厅、省科技厅、省发展改革委)
(四)提升对外合作水平。积极推进“一带一路”建设,推动国际产能和装备制造合作,带动辽宁装备“走出去”,推进建设一批境外制造业产业基地,实施一批重点国际产能和装备制造合作项目。加大招商引资力度,围绕产业链补短板,重点以与苏京沪对口合作等为载体,加强与国内省市的对接合作。鼓励企业逐步实现由产品输出向技术输出、资本输出和服务输出转变。(责任单位:省发展改革委、省商务厅、省工业和信息化厅)
(五)加快人才引进培养。建立和完善人才引进、培养与激励机制,建立装备制造业人才库,加快培养和引进装备制造业的中高级技工队伍、研发专家和团队、高级经营管理人才,为产业发展提供智力支持和人才保障。强化职业教育和技能培训,建立一批实训基地。(责任单位:省工业和信息化厅、省人力资源社会保障厅、省教育厅)